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Asher 去胶机
产品型号：AURA1000
产品品牌：Gasonics
产品类别：光刻胶去胶机
Gasonic Aura 1000 去胶（打胶）机是单片台式刻蚀系统，可用于3”、4”、5” 及6” 晶片的光刻胶及聚酰氨的刻蚀。刻蚀速率高，无RF损伤。其可靠性高、 适应范围广已使Aura 1000去胶（打胶）机成为多用途、高产量半导体生产厂家的首选。
- 3“-6" wafers
- Strip rate >2 micron/minute
- MKS Pressure Control (Type 252A-1 w/ 253AThrottle)
- Plasma & Lamp Failure Detection
- Endpoint Detection
单片工艺；
去除晶片正面、背面光刻胶
3 ” 4” ，5“及6” 晶片
自动传片系统
红外光加热用于工艺温度控制
热电偶用于监控工艺过程中晶片温度
工艺控制终点检测
特点：
1. 去胶速率快，是其他设备的2-3倍
2. 去胶均匀性好
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